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LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计
介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中,X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成,微齿轮图形的分割及图......
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